来源: 作者:自媒体小编 2026-11-09 12:18:28 我要评论
中国新一代光刻机模型亮相上海国际进口博览会
11月5日至10日,第九届中国国际进口博览会在上海举行。上海微电子装备集团携自主研发的新一代前道干式扫描投影光刻机SSC800、SSB800(模型)亮相中国馆,展示我国前道光刻装备自主化的阶段性成果。
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